科晶OTF-1200X-4-RTP產品介紹：

OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速熱處理管式爐，配有4" 石英管和真空法蘭， 它是專為半導體或太陽能電池基片（最大達3“）的退火而設計，采用10KW紅外燈管加熱最快升溫速度為 50°C/秒. 30 段溫度控制，精度為 +/-1°C. 計算機通過RS485口和控制軟件實時控制爐子和顯示溫度曲線 。

爐體結構：

帶風冷的雙層鑄鋼外殼使得爐體表面溫度低于60℃

爐膛采用高純的氧化鋁纖維，最大程度上減少了熱量的損失

不慎在加熱過程打開爐蓋，配備的連鎖保護開關會自動切斷電源

內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命

石英管和樣品架：

石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length

3" 的樣品架固定在滑動法蘭上，石英材料

 一片3"  AlN 片放在樣品架上用來放置需要退火的樣品。

AlN 具有很高的熱導率，所以在樣品放置的區域有很好的溫度均勻性+\- 5°C

選配水冷：

如果要求通冷卻水.

請確定冷卻水流速 ≥ 3L/min, 水溫 < 20oC; 水壓 > 25 PSI

我們建議采用 循環水制冷器作為冷卻系統（為了節約用水）.

警告:  這款 RTP 爐在1000oC ~ 1100oC下保溫時間不超過 600 秒，否則“ O”圈將被燒融

真空法蘭：

帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作，兩個高溫“O”型圈密封

滑動法蘭使裝載樣品很容易. 3" 樣品架和內插式熱偶保證了溫度的準確。

可選真空度：

用機械泵真空度達 50 mtorr .

用分子泵真空度可達 10-4 torr

真空表標配：

標配：數字真空表，測量范圍為10-4 -1000 Torr；在測量腔體真空度為10-4- 10-3Torr前必須進行零點校準，否則，顯示真空度會有較大的偏差；LED數字式顯示，顯示單位分為torr 和mtorr；接口規格為1/8"NPT；CE認證；輸入電壓: 110V~220V。

注意：此表是在氮氣下校準的，只有在氮氣和空氣下表上顯示的是實際壓力，當通入任何其他氣體時，必須參考說明書中的相對氣體對照表，否則后果會很嚴重。

免責聲明：

本站產品介紹內容（包括產品圖片、產品描述、技術參數等）僅供參考。可能由于更新不及時和網站不可預知的BUG造成數據與實物的偏差。如果您對參數有異議，或者想了解產品詳細信息，請與本公司銷售人員聯系。本站提供的信息不構成任何要約或承諾，科晶公司會不定期完善和修改網站任何信息，恕不另行通知，請您見諒。

科晶OTF-1200X-4-RTP技術參數：

溫度：最高1100oC （長期1000°C）   

加熱元件：8 根紅外燈管 (直徑10 總長300 加熱長度 200, mm）

加熱區：加熱區長度12" ；恒溫區長度4"（ +/-5°C ）

熱偶：進口K 型熱偶, 緊貼在放樣品的AlN片下

電源：208-240 AC, 50/60 Hz 單相, 額定功率12KW (> 60A 保險)

最快升溫速率：室溫~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃： 10oC/sec

最快降溫速率：60oC/min (在 200 mtorr下), 117oC/min (在一個大氣壓下)  選擇:  為得到較快的降溫速度 < 10°C/秒, 你可以選擇帶滑軌的 RTP 爐

流量計：范圍： 16 - 160 ml/min

ID 自動控制，30段程序帶過熱和斷偶保護功能

熱偶: 進口K type

自整定功能

控溫精度: +/- 1°C

RS485 串口和溫控軟件（模塊和數據線需要另購）

溫度控制：PID 自動控制， 可控硅 SCR    

注意：此爐可以增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE(快速熱蒸發）爐

尺寸：760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)

質量：45 kg (100 lbs)   

保修期：電器部分一年質保期 (耗材：如爐管，“O”型圈和加熱燈管等不在保修范圍內）

認證：CE認證所有電器元件（＞24V）都通過了UL/MET/CSA認證若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證

科晶OTF-1200X-4-RTP使用注意事項：

爐管內氣壓不可高于0.02MPa

由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態進

入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

石英管的長時間使用溫度＜1100℃

對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）