輸入電壓：110/220,50/60Hz,小于100W（請在訂貨時說明）；

輸出頻率：13.56MHz;

等離子直流電源：

低功率設定：直流680V，10mA,6.8W;

中功率設定：直流700V，15mA,10.5W;

高功率設定：直流720V，25mA,18W;

等離子腔室：直徑75mmx長165mm,

耐熱玻璃    前蓋可以拆卸。

真空泵和閥的要求： 

a,大于每分鐘160L

b,極限壓力：200mtorr或者0.27mbar

c,可以選擇數字真空表

d,針閥控制氣體流量

e,采用三通閥門快速控制進氣、密封等離子腔室、排氣

氣體：多種氣體可以用于等離子清洗，例如氮氣、氬氣、空氣、混合氣體，主要取決于處理何種材料。

警示：不能使用可燃性氣體。

外形尺寸：200mmx250mmx210mm 8、

凈重：（不含泵）8kg

可選真空計

可選本公司生產研發的電阻真空計此款真空計

是以Pirani電阻規在不同真空環境下體現的熱傳導特性為原理而研發的一款低真空測量儀器，特別適應于從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環境的真空度測量。