超聲聲強：在一定范圍內，超聲聲強越強，空化作用越明顯。但當聲強過高是，在聲源表面會產生大量無用的氣泡，從而形成一道聲屏障，使遠離聲源的聲波強度減弱；令一方面在高聲強的作用下空化泡可能膨脹過大而在壓縮時來不及閉合，導致無法產生空化。

超聲頻率：頻率越低空化作用越強，頻率越高在液體里產生同樣的空化效果所需的聲功率越大。

清洗溶液的黏度：溶液黏度越小，越容易產生空化，空化效果也越強。

溶解于清洗溶液中的氣體：為了得到良好的空化效果，液體中溶解的氣體必須盡量減少。

溫度：溫度是影響超聲空化作用的重要因素。溫度升高會減小清洗溶液的黏性、降低氣體在液體中的溶解度。并且溫度升高會使空化核增加，也有利與空化。對于水溶液，較為事宜的溫度為60℃。

超聲聲強及超聲頻率是固定的，但聲強偶爾也會有所降低，比如電抗器匝間短路及換能器陣列中的個別換能器損壞時。出現以上狀況時，超聲電源的阻抗匹配狀態會被破壞，換能器的輸出聲強會有所減弱，清洗效果就會變差。